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無塵車間凈化工程主要有進(jìn)風(fēng)系統(tǒng)、回風(fēng)系統(tǒng)、緩沖區(qū)、風(fēng)淋室,貨淋室,傳遞窗等,那么它的各個(gè)系統(tǒng)的主要設(shè)備有哪些呢?
一、無塵車間凈化工程進(jìn)風(fēng)系統(tǒng)要安裝:新風(fēng)過濾箱,中央凈化空調(diào)(中央凈化空調(diào)要分為初效/中效/高效三個(gè)過濾段)末端有高效送風(fēng)口。有必要時(shí)還裝有凈化增壓箱。
二、無塵車間回風(fēng)系統(tǒng)要安裝:回風(fēng)口,過濾初效器,中效回風(fēng)箱。
三、進(jìn)入無塵車間之前先進(jìn)入緩沖區(qū),緩沖區(qū)門安裝電子互鎖,更衣處放置潔凈儲(chǔ)衣柜空氣清新機(jī)。
四、人和貨物進(jìn)入無塵凈化車間須經(jīng)過風(fēng)淋室,貨淋室,傳遞窗主要傳遞小物品。
五、在無塵凈化車間內(nèi)局部需要達(dá)到10-1000級(jí)地方安裝垂直層流工作臺(tái),層流罩(ffu),潔凈棚(可移式凈化工作棚),自凈器。測(cè)無塵室潔凈度用,激光塵埃粒子計(jì)數(shù)器。
六、無塵廠房要設(shè)計(jì)觀察窗方便參觀。
由此可見無塵凈化車間工程得凈化工程是非常嚴(yán)格的,每個(gè)部分都有特定的設(shè)備,各個(gè)設(shè)備之間又相互配合,各自運(yùn)作。
一種循環(huán)空調(diào)機(jī)配合高效送風(fēng)口系統(tǒng)形式在小規(guī)模低等級(jí)要求的潔凈車間裝修工程設(shè)計(jì)中被廣泛應(yīng)用,對(duì)于大面積高等級(jí)的潔凈車間工程則存在運(yùn)行成本過高、占用空間過大等缺點(diǎn)。
二種循環(huán)風(fēng)機(jī)配合濕式密封系統(tǒng)形式的設(shè)計(jì)可以滿足集成電路制造潔凈車間工程大面積高等級(jí)的要求,但運(yùn)行成本較高,并且潔凈室工程的風(fēng)速、風(fēng)量調(diào)節(jié)困難,系統(tǒng)升級(jí)改造困難,因此操作靈活性很低。
三種的FFU循環(huán)系統(tǒng)不僅節(jié)省運(yùn)行空間、潔凈度安全性高、運(yùn)行成本低,而且操作靈活性很高,可以在不影響生產(chǎn)的情況下隨時(shí)進(jìn)行系統(tǒng)升級(jí)和調(diào)整,這些都能很好地滿足半導(dǎo)體制造的需求,因此在半導(dǎo)體制造業(yè)FFU循環(huán)系統(tǒng)逐漸成為最主要的設(shè)計(jì)方案。
所謂的凈化就是將一定空間范圍內(nèi)空氣中的細(xì)菌、有害氣體、微粒子等污染物清除,并將室內(nèi)的溫度、潔凈度、室內(nèi)壓力、氣流速度與氣流分布、噪音震動(dòng)及照明、靜電控制在一個(gè)范圍內(nèi),但是凈化車間是一個(gè)復(fù)雜的工程,需要很多技術(shù)知識(shí),在設(shè)計(jì)和施工中要注意很多細(xì)節(jié),下面為您介紹凈化車間中不能忽視的細(xì)節(jié)。
在凈化車間中空氣凈化系統(tǒng)中,潔凈空氣都需要靠風(fēng)管輸送,風(fēng)管的性能會(huì)影響到空氣潔凈度,風(fēng)管首先要注意密閉性,使用中不積累灰塵、不產(chǎn)生灰塵、耐潮濕、耐腐蝕、不會(huì)污染等性能,在風(fēng)管的設(shè)計(jì)中也需要考慮阻力的問題,避免阻力過大,需要增加送風(fēng)的壓力,增加能源的消耗。
工作人員的走動(dòng)影響室內(nèi)的空氣潔凈度,避免工作人員減少不必要的走動(dòng),需要在車間內(nèi)的電話,電話可以減少工作人員來回走動(dòng),影響室內(nèi)的環(huán)境,凈化車間的安全性非常重要,尤其是需要注意防火問題,在車間內(nèi)設(shè)置火災(zāi)報(bào)警系統(tǒng)和自動(dòng)水淋系統(tǒng),還需要配備消防設(shè)備,這樣才能保證車間的安全性。南康無塵凈化車間工程